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自动变焦三维表面形貌测量仪InfiniteFocus G4
自动变焦三维表面形貌测量仪InfiniteFocus G4由奥地利alicona公司研发生产,是一款用于实验室研究和生产控制的高分辨率光学三维表面测量仪,它将形貌测量和粗糙度测量*地结合在同一个系统中,垂直分辨率达10nm。
自动变焦 G4的主要功能:
表面形貌测量
粗糙度测量
表面纹理测量
体积测量
二维图像测量
重复性测量任务的编程操作
形状测量
偏差测量
轮廓测量
刃口测量
自动变焦 G4的技术参数:
位移范围(X、Y、Z轴):100×100×100mm
样品表面结构:表面形貌Ra>10-15nm,Lc=2µm
zui大样品高度:100mm-240mm
zui大样品倾斜角:85°
zui大扫描高度:22mm
*垂直分辨率:10nm
zui大扫描面积:10000mm2
zui大单一扫描范围:100mm
zui小测量粗糙度(Ra):30nm
zui小测量粗糙度(Sa):15nm
zui小测量半径:1µm
zui小测量角度:20°
自动变焦 G4的主要特点:
能够同时测量形貌和粗糙度
能够测量小半径和小角度
能够测量超过80°的斜面
标准真实的颜色信息
提供360°的形状和粗擦度测量
检测具有不同表面特征的表面
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